Dielectric charge control in electrostatic MEMS positioners/varactors
Visualitza/Obre
Dielectric charge control in electrostatic MEMS positioners varactors.pdf (928,4Kb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
Cita com:
hdl:2117/16137
Tipus de documentArticle
Data publicació2012-06
Condicions d'accésAccés restringit per política de l'editorial
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
A new dynamical closed-loop method is proposed to control dielectric charging in capacitive microelectromechanical systems (MEMS) positioners/varactors for enhanced reliability and robustness. Instead of adjusting the magnitude of the control voltage to compensate the drift caused by the dielectric charge, the method uses a feedback loop to maintain it at a desired level: the device capacitance is periodically sampled, and bipolar pulses of constant magnitude are applied. Specific models describing the dynamics of charge and a control map are introduced. Validation of the proposed method is accomplished both through discrete-time simulations and with experiments using MEMS devices that suffer from dielectric charging.
CitacióBlokhina, E. [et al.]. Dielectric charge control in electrostatic MEMS positioners/varactors. "Journal of microelectromechanical systems", Juny 2012, vol. 21, núm. 3, p. 559-573.
ISSN1057-7157
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
Dielectric char ... positioners varactors.pdf | 928,4Kb | Accés restringit |