Show simple item record

dc.contributorPons Nin, Joan
dc.contributor.authorGorreta Mariné, Sergio
dc.contributor.otherUniversitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica
dc.descriptionDesign, implementation and experimental verification of a control system for simultaneous control of dielectric charge and device capacitance in contactless capacitive MEMS.
dc.description.abstractSimultaneous control of dielectric charging and device capacitance for contactless electrostatic MEMS
dc.description.abstractMétodo de control para la estabilización de la carga atrapada en la capa dieléctrica de dispositivos MEMS y su capacidad.
dc.description.abstractMètode de control per a l'estabilització de la càrrega atrapada en la capa dielèctrica de dispositius MEMS i la seva capacitat.
dc.publisherUniversitat Politècnica de Catalunya
dc.subjectÀrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica
dc.subject.lcshElectromechanical decives
dc.subject.lcshElectronic control
dc.titleSimultaneous control of dielectric charging and device capacitance for contactless electrostatic MEMS
dc.title.alternativeControl simultani de càrrega i capacitat per a dispositius MEMS
dc.title.alternativeControl simultáneo de carga y capacidad para dispositivos MEMS
dc.typeMaster thesis (pre-Bologna period)
dc.subject.lemacDispositius electromecànics
dc.subject.lemacControl electrònic
dc.rights.accessRestricted access - author's decision
dc.audience.educationlevelEstudis de primer/segon cicle
dc.audience.mediatorEscola Tècnica Superior d'Enginyeria de Telecomunicació de Barcelona
dc.audience.degreeENGINYERIA ELECTRÒNICA (Pla 1992)

Files in this item


This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

All rights reserved. This work is protected by the corresponding intellectual and industrial property rights. Without prejudice to any existing legal exemptions, reproduction, distribution, public communication or transformation of this work are prohibited without permission of the copyright holder