Simultaneous control of dielectric charging and device capacitance for contactless electrostatic MEMS

Gorreta Mariné, Sergio

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Gorreta Mariné, Sergio

Tutor / director / evaluadorPons Nin, Joan

Tipo de documentoProyecto/Trabajo final de carrera

Fecha2016-09-20

Condiciones de accesoAcceso restringido por decisión del autor

Resumen

Simultaneous control of dielectric charging and device capacitance for contactless electrostatic MEMS

Método de control para la estabilización de la carga atrapada en la capa dieléctrica de dispositivos MEMS y su capacidad.

Mètode de control per a l'estabilització de la càrrega atrapada en la capa dielèctrica de dispositius MEMS i la seva capacitat.

Descripción

Design, implementation and experimental verification of a control system for simultaneous control of dielectric charge and device capacitance in contactless capacitive MEMS.

MateriasElectromechanical decives, Electronic control, Dispositius electromecànics, Control electrònic

URIhttp://hdl.handle.net/2117/97460

Colecciones

Escola Tècnica Superior d'Enginyeria de Telecomunicació de Barcelona - Enginyeria Electrònica [287]

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