Simultaneous control of dielectric charging and device capacitance for contactless electrostatic MEMS
View/Open
PFC_SGM.pdf (1,393Mb) (Restricted access)
Request copy
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
Document typeMaster thesis (pre-Bologna period)
Date2016-09-20
Rights accessRestricted access - author's decision
Abstract
Simultaneous control of dielectric charging and device capacitance for contactless electrostatic MEMS Método de control para la estabilización de la carga atrapada en la capa dieléctrica de dispositivos MEMS y su capacidad. Mètode de control per a l'estabilització de la càrrega atrapada en la capa dielèctrica de dispositius MEMS i la seva capacitat.
Description
Design, implementation and experimental verification of a control system for simultaneous control of dielectric charge and device capacitance in contactless capacitive MEMS.
SubjectsElectromechanical decives, Electronic control, Dispositius electromecànics, Control electrònic
DegreeENGINYERIA ELECTRÒNICA (Pla 1992)
Files | Description | Size | Format | View |
---|---|---|---|---|
PFC_SGM.pdf![]() | 1,393Mb | Restricted access |
All rights reserved. This work is protected by the corresponding intellectual and industrial
property rights. Without prejudice to any existing legal exemptions, reproduction, distribution, public
communication or transformation of this work are prohibited without permission of the copyright holder