Mostra el registre d'ítem simple
Fabricacion y caracterizacion de guias opticas integradas sobre sustratos de silicio
| dc.contributor.author | Torner Sabata, Lluís |
| dc.contributor.author | Alcubilla González, Ramón |
| dc.contributor.author | Calderer Cardona, Josep |
| dc.contributor.other | Universitat Politècnica de Catalunya. Departament de Teoria del Senyal i Comunicacions |
| dc.contributor.other | Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica |
| dc.date.accessioned | 2016-03-31T12:31:31Z |
| dc.date.available | 2016-03-31T12:31:31Z |
| dc.date.issued | 1991 |
| dc.identifier.citation | Torner, L., Alcubilla, R., Calderer, J. Fabricacion y caracterizacion de guias opticas integradas sobre sustratos de silicio. A: Simposium Nacional de la Unión Científica Internacional de Radio. "VI Simposium Nacional de la Unión Científica Internacional de Radio. URSI 1991". Caceres: 1991, p. 1145-1149. |
| dc.identifier.isbn | 84-600-7766-7 |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2117/84974 |
| dc.description.abstract | Silicon nitride (Si 3 N4 ) planar optical waveguides have been successfully grown by lowpressure chemical vapor deposition (LPCVD). Silicon p-type wafers with a (100) orientation were used as substrates, and the Si3 N4 was separated from the lossy Si substrate by a thermally grown SiO2 thin film. |
| dc.format.extent | 5 p. |
| dc.language.iso | spa |
| dc.rights.uri | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/ |
| dc.subject | Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria de la telecomunicació |
| dc.subject.lcsh | Silicon |
| dc.title | Fabricacion y caracterizacion de guias opticas integradas sobre sustratos de silicio |
| dc.type | Conference report |
| dc.subject.lemac | Silici |
| dc.contributor.group | Universitat Politècnica de Catalunya. FOTONICA - Grup de Recerca de Fotònica |
| dc.contributor.group | Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies |
| dc.description.peerreviewed | Peer Reviewed |
| dc.relation.publisherversion | http://ursi.usc.es/wp-content/uploads/articulos_antiguos_escaneados/Caceres_1991/sesion6A6.pdf |
| dc.rights.access | Open Access |
| local.identifier.drac | 2472099 |
| dc.description.version | Postprint (published version) |
| local.citation.author | Torner, L.; Alcubilla, R.; Calderer, J. |
| local.citation.contributor | Simposium Nacional de la Unión Científica Internacional de Radio |
| local.citation.pubplace | Caceres |
| local.citation.publicationName | VI Simposium Nacional de la Unión Científica Internacional de Radio. URSI 1991 |
| local.citation.startingPage | 1145 |
| local.citation.endingPage | 1149 |
