Show simple item record

dc.contributor.authorTorner Sabata, Lluís
dc.contributor.authorAlcubilla González, Ramón
dc.contributor.authorCalderer Cardona, Josep
dc.contributor.otherUniversitat Politècnica de Catalunya. Departament de Teoria del Senyal i Comunicacions
dc.contributor.otherUniversitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica
dc.date.accessioned2016-03-31T12:31:31Z
dc.date.available2016-03-31T12:31:31Z
dc.date.issued1991
dc.identifier.citationTorner, L., Alcubilla, R., Calderer, J. Fabricacion y caracterizacion de guias opticas integradas sobre sustratos de silicio. A: Simposium Nacional de la Unión Científica Internacional de Radio. "VI Simposium Nacional de la Unión Científica Internacional de Radio. URSI 1991". Caceres: 1991, p. 1145-1149.
dc.identifier.isbn84-600-7766-7
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2117/84974
dc.description.abstractSilicon nitride (Si 3 N4 ) planar optical waveguides have been successfully grown by lowpressure chemical vapor deposition (LPCVD). Silicon p-type wafers with a (100) orientation were used as substrates, and the Si3 N4 was separated from the lossy Si substrate by a thermally grown SiO2 thin film.
dc.format.extent5 p.
dc.language.isospa
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/
dc.subjectÀrees temàtiques de la UPC::Enginyeria de la telecomunicació
dc.subject.lcshSilicon
dc.titleFabricacion y caracterizacion de guias opticas integradas sobre sustratos de silicio
dc.typeConference report
dc.subject.lemacSilici
dc.contributor.groupUniversitat Politècnica de Catalunya. FOTONICA - Grup de Recerca de Fotònica
dc.contributor.groupUniversitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
dc.description.peerreviewedPeer Reviewed
dc.relation.publisherversionhttp://ursi.usc.es/wp-content/uploads/articulos_antiguos_escaneados/Caceres_1991/sesion6A6.pdf
dc.rights.accessOpen Access
local.identifier.drac2472099
dc.description.versionPostprint (published version)
local.citation.authorTorner, L.; Alcubilla, R.; Calderer, J.
local.citation.contributorSimposium Nacional de la Unión Científica Internacional de Radio
local.citation.pubplaceCaceres
local.citation.publicationNameVI Simposium Nacional de la Unión Científica Internacional de Radio. URSI 1991
local.citation.startingPage1145
local.citation.endingPage1149


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Spain
Except where otherwise noted, content on this work is licensed under a Creative Commons license : Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Spain