Optimization of a novel micro-opto-X-ray imaging lens
Visualitza/Obre
Cita com:
hdl:2117/8157
Tipus de documentArticle
Data publicació2008-06
Condicions d'accésAccés obert
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
A mechanically deformable reflection transmission MOEMS system is capable of focusing X-rays to sub micron spots. This paper considers the geometry of the proposed deformed slotted microcantilever lens element under thermally derived strain, using finite element analysis. The work shows that an optimized MOEMS design using a slotted polyimide/gold thermal bimorph cantilever is capable of achieving ideal geometry with a larger than expected number of focusing slots – up to 111 at 2 μm width.
CitacióOstadi, H. [et al.]. Optimization of a novel micro-opto-X-ray imaging lens. "Microelectronic engineering", Juny 2008, vol. 85, núm. 5-6, p. 1086-1088.
ISSN0167-9317
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
2008-ME-OAPJH-blanc.pdf | 782,9Kb | Visualitza/Obre |