Analysis of GaAs-Ti thin films deposited by sputtering onto c-Si and GaAs

Thumbnail
Visualitza/Obre
Silvestre Bergés, SantiagoMés informacióMés informació
Puigdollers i González, JoaquimMés informacióMés informació
Boronat, A.
Castañer Muñoz, Luis MaríaMés informacióMés informació
Tipus de documentComunicació de congrés
Data publicació2009-02-11
EditorIEEE Press. Institute of Electrical and Electronics Engineers
Condicions d'accésAccés obert
Abstract
CitacióSilvestre, S. [et al.]. Analysis of GaAs-Ti thin films deposited by sputtering onto c-Si and GaAs. A: 7th Spanish Conference on Electronics Devices. "7th Spanish Conference on Electronic Devices". Santiago de Compostela: IEEE Press. Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2009, p. 5-7.
URIhttp://hdl.handle.net/2117/6639
Dipòsit legalIEEE
ISBN978-1-4244-2839-7
Col·leccions

FitxersDescripcióMidaFormatVisualitza
AnalysisGaAs.pdf284.6KbPDFVisualitza/Obre
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets