Ir al contenido (pulsa Retorno)

Universitat Politècnica de Catalunya

    • Català
    • Castellano
    • English
    • LoginRegisterLog in (no UPC users)
  • mailContact Us
  • world English 
    • Català
    • Castellano
    • English
  • userLogin   
      LoginRegisterLog in (no UPC users)

UPCommons. Global access to UPC knowledge

Banner header
69.362 UPC E-Prints
You are here:
View Item 
  •   DSpace Home
  • E-prints
  • Grups de recerca
  • MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
  • Articles de revista
  • View Item
  •   DSpace Home
  • E-prints
  • Grups de recerca
  • MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
  • Articles de revista
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Atomic layer deposition of vanadium oxide films for crystalline silicon solar cells

Thumbnail
View/Open
Atomic layer.pdf (2,887Mb)
 
10.1039/d1ma00812a
 
  View UPCommons Usage Statistics
  LA Referencia / Recolecta stats
Includes usage data since 2022
Cita com:
hdl:2117/363435

Show full item record
Ros Costals, EloiMés informacióMés informació
Masmitjà Rusiñol, GerardMés informacióMés informacióMés informació
Almache Hernández, Rosa EstefaníaMés informacióMés informació
Pusay Villarroel, Benjamín AndrésMés informació
Tiwari, Kunal JogendraMés informacióMés informació
Saucedo Silva, Edgardo AdemarMés informacióMés informacióMés informació
Justin Raj, Chellan
Chul Kim, Byung
Puigdollers i González, JoaquimMés informacióMés informacióMés informació
Martín García, IsidroMés informacióMés informacióMés informació
Voz Sánchez, CristóbalMés informacióMés informacióMés informació
Ortega Villasclaras, Pablo RafaelMés informacióMés informació
Document typeArticle
Defense date2022
PublisherRoyal Society of Chemistry (RSC)
Rights accessOpen Access
Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Spain
This work is protected by the corresponding intellectual and industrial property rights. Except where otherwise noted, its contents are licensed under a Creative Commons license : Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Spain
Abstract
Transition metal oxides (TMOs) are promising materials to develop selective contacts on high-efficiency crystalline silicon solar cells. Nevertheless, the standard deposition technique used for TMOs is thermal evaporation, which could add potential scalability problems to industrial photovoltaic fabrication processes. As an alternative, atomic layer deposition (ALD) is a thin film deposition technique already used for dielectric deposition in the semiconductor device industry that has a straightforward up scalable design. This work reports the results of vanadium oxide (V2O5) films deposited by ALD acting as a hole-selective contact for n-type crystalline silicon (c-Si) solar cell frontal transparent contact without the additional PECVD passivating layer. A reasonable specific contact resistance of 100 mO cm2 was measured by the transfer length method. In addition, measurements suggest the presence of an inversion layer at the c-Si/V2O5 interface with a sheet resistance of 15 kO sq-1. The strong band bending induced at the c-Si surface was confirmed through capacitance–voltage measurements with a built-in voltage value of 683 mV. Besides low contact resistance, vanadium oxide films provide excellent surface passivation with effective lifetime values of up to 800 µs. Finally, proof-of-concept both-side contacted solar cells exhibit efficiencies beyond 18%, shedding light on the possibilities of TMOs deposited by the atomic layer deposition technique.
CitationRos, E. [et al.]. Atomic layer deposition of vanadium oxide films for crystalline silicon solar cells. "Materials advances", 2022, vol. 3, núm. 1, p. 337-345. 
URIhttp://hdl.handle.net/2117/363435
DOI10.1039/d1ma00812a
ISSN2633-5409
Publisher versionhttps://pubs.rsc.org/en/content/articlelanding/2022/MA/D1MA00812A
Collections
  • MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies - Articles de revista [346]
  • Doctorat en Enginyeria Electrònica - Articles de revista [191]
  • Departament d'Enginyeria Electrònica - Articles de revista [1.884]
  View UPCommons Usage Statistics

Show full item record

FilesDescriptionSizeFormatView
Atomic layer.pdf2,887MbPDFView/Open

Browse

This CollectionBy Issue DateAuthorsOther contributionsTitlesSubjectsThis repositoryCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsOther contributionsTitlesSubjects

© UPC Obrir en finestra nova . Servei de Biblioteques, Publicacions i Arxius

info.biblioteques@upc.edu

  • About This Repository
  • Metadata under:Metadata under CC0
  • Contact Us
  • Send Feedback
  • Privacy Settings
  • Inici de la pàgina