Metrological characterization of different methods for recovering the optically sectioned image by means of structured light
Visualitza/Obre
Metrological characterization of different methods for recovering the optically sectioned image by means of structured light.pdf (9,303Mb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
Cita com:
hdl:2117/352353
Tipus de documentText en actes de congrés
Data publicació2021
EditorInternational Society for Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE)
Condicions d'accésAccés restringit per política de l'editorial
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
Imaging confocal microscopy (ICM) and focus variation (FV) are two of the most used technologies for 3D surface metrology. Both methods rely on the depth of focus of the microscope objective, which depends on its numerical aperture and wavelength of the light source to compute an optical section. In this paper we study how several methods of structured illumination microscopy affect the metrological characteristics of an areal optical profiler. We study the effect of the projection of different structured patterns, the sectioning algorithms, and the use of high and low frequency components onto the optically sectioned image. We characterized their performance in terms of system noise, instrument transfer function and metrological characteristics such as roughness parameters and step height values.
CitacióMartínez, P. [et al.]. Metrological characterization of different methods for recovering the optically sectioned image by means of structured light. A: SPIE Optical Metrology. "Optical Measurement Systems for Industrial Inspection XII: 21-25 June 2021, online only, Germany". Washington: International Society for Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE), 2021, p. 1-11. DOI 10.1117/12.2592371.
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
Metrological ch ... ns of structured light.pdf | 9,303Mb | Accés restringit |