Macroporous silicon for spectroscopic CO2 detection
Visualitza/Obre
text complet (1,659Mb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
10.1109/ICSENS.2014.6985187
Inclou dades d'ús des de 2022
Cita com:
hdl:2117/27458
Tipus de documentText en actes de congrés
Data publicació2014
EditorInstitute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Condicions d'accésAccés restringit per política de l'editorial
Llevat que s'hi indiqui el contrari, els
continguts d'aquesta obra estan subjectes a la llicència de Creative Commons
:
Reconeixement-NoComercial-SenseObraDerivada 3.0 Espanya
Abstract
A carbon dioxide sensor based on a photonic crystal of macroporous silicon and measurements of its response are presented in this paper. Photonic crystals have opened new ways for the miniaturization of optical detector devices. In particular, macroporous silicon has proven to be a versatile material for many applications, and more specifically for the creation of photonic crystals in the MIR and NIR spectral regions. In this paper we present the design and fabrication of a MpSi photonic crystal with a photonic stopband in the lambda 4.2 µm region. This bandgap creates a spectral reflection peak centred on one of the main absorption bands for carbon dioxide which can be used to detect the presence of this gas. The device structure is a square lattice of modulated pores with a 700 nm pitch produced by electrochemical etching of silicon. No sensing materials such as polymers are used to perform detection, relying just on the spectral response of as-etched MpSi.
CitacióVega, D. [et al.]. Macroporous silicon for spectroscopic CO2 detection. A: IEEE Conference on Sensors. "IEEE Sensors 2014: proceedings: Valencia, Spain: November 2-5, 2014". València: Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 2014, p. 1061-1064.
ISBN978-1-4799-0161-6
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
Vega_IEEE SENSORS2014_Macroporous_silicon.pdf | text complet | 1,659Mb | Accés restringit |