Pulsed digital oscillators for electrostatic MEMS
Visualitza/Obre
Article principal (2,920Mb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
Cita com:
hdl:2117/19706
Tipus de documentArticle
Data publicació2012
Condicions d'accésAccés restringit per política de l'editorial
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
This paper introduces a new actuation scheme for implementing Pulsed Digital Oscillators (PDOs) for electrostatic MEMS resonators. In this scheme, the capacitance of the device is
biased with a voltage and it is periodically sampled. Short pulses of zero voltage are applied depending on the decisions taken by the oscillator loop. The paper discusses in detail the implementation of such electrostatic PDO (e-PDO) through a prototype and links the e-PDO to the conventional PDO theory. As an example, it is shown that with this actuation scheme it is possible to excite different resonances of the mechanical structure simply by changing the parameters of the feedback filter of the oscillator.
CitacióGorreta, S. [et al.]. Pulsed digital oscillators for electrostatic MEMS. "IEEE transactions on circuits and systems I: regular papers", 2012, vol. 59, núm. 12, p. 2835-2845.
ISSN1057-7122
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
Pulsed digital.pdf | Article principal | 2,920Mb | Accés restringit |