Boron diffused emitters passivated with Al2O3 films
Visualitza/Obre
Boron diffused emitters passivated with Al2O3 films (334,6Kb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
Cita com:
hdl:2117/19570
Tipus de documentText en actes de congrés
Data publicació2013
EditorInstitute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Condicions d'accésAccés restringit per política de l'editorial
Llevat que s'hi indiqui el contrari, els
continguts d'aquesta obra estan subjectes a la llicència de Creative Commons
:
Reconeixement-NoComercial-SenseObraDerivada 3.0 Espanya
Abstract
In this work we study the fabrication and characterization of boron diffused emitters using FZ c-Si(n) substrates. Emitter surface was passivated with Al2O3(25 nm thick) layers deposited by thermal atomic layer deposition ALD technique. This study covers a broad emitter sheet resistance Rsh range from 20 to 250 Ω/sq using both polished and textured wafers. Emitter electrical quality was tested by means of lifetime measurements using quasi-stationary photoconductance QSS-PC method. Dark saturation emitter current densities Joe's were extracted from lifetime measurements resulting in Joe's values ranging from 10 to 150 fA/cm2 depending on Rsh. These results are in the-state-of-the-art in boron emitter passivation.
CitacióMasmitja, G. [et al.]. Boron diffused emitters passivated with Al2O3 films. A: Spanish Conference on Electron Devices. "Proceedings of the 2013 Spanish Conference on Electron Devices: CDE 2013: February 12-14, 2013: Valladolid, Spain". Valladolid: Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 2013, p. 329-332.
ISBN978-1-4673-4666-5
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
Boron diffused ... vated with Al2O3 films.pdf | Boron diffused emitters passivated with Al2O3 films | 334,6Kb | Accés restringit |