Role of SiO2 layers in third-order nonlinear effects of temperature compensated BAW resonators
Visualitza/Obre
full text (477,9Kb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
10.1109/ULTSYM.2019.8925546
Inclou dades d'ús des de 2022
Cita com:
hdl:2117/185866
Tipus de documentText en actes de congrés
Data publicació2019
EditorInstitute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Condicions d'accésAccés restringit per política de l'editorial
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
This work applies a comprehensive nonlinear characterization process of two Temperature Compensated Bulk Acoustic Wave (TC-BAW) resonators. In both resonators, the SiO 2 layers have a remarkable impact on the generation of third- order intermodulation products (IMD3), confirming the impact of the SiO 2 on the generation of passive intermodulation. A unified model considering the electro-thermo-mechanical constitutive relations of the piezoelectricity is used, that allows to discern on the origin of the IMD3, either it comes from intrinsic nonlinearities of the materials, or from self-heating mechanisms.
CitacióGarcia, D. [et al.]. Role of SiO2 layers in third-order nonlinear effects of temperature compensated BAW resonators. A: IEEE International Ultrasonics Symposium. "2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)". Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 2019, p. 76-79.
ISBN9781728145969
Col·leccions
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
08925546.pdf | full text | 477,9Kb | Accés restringit |