Mostra el registre d'ítem simple

dc.contributor.authorGordiets, F.B.
dc.contributor.authorInestrosa-Izurieta, M.J.
dc.contributor.authorNavarro Sentanyes, Antonio
dc.contributor.authorBertran, Enric
dc.contributor.otherUniversitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Química
dc.date.accessioned2012-03-22T11:50:05Z
dc.date.available2012-03-22T11:50:05Z
dc.date.created2011-11-24
dc.date.issued2011-11-24
dc.identifier.citationGordiets, F. [et al.]. Nano particles in SiH4-Ar plasma: Modelling and comparison with experimental data. "Journal of applied physics", 24 Novembre 2011, vol. 110, núm. 103302, p. 1-8.
dc.identifier.issn0021-8979
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2117/15643
dc.format.extent8 p.
dc.language.isoeng
dc.publisherAmerican Institute of Physics (AIP)
dc.publisherPublished by American Institute of Physics
dc.rightsCopyright by B.F. Gordiets, M.J. Inestrosa-Izurieta, A. Navarro and E. Bertran
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/
dc.sourceCitation: J. Appl. Phys. 110, 103302 (2011); doi:10.1063/1.3658249
dc.subjectÀrees temàtiques de la UPC::Física
dc.subject.lcshNanoparticles
dc.subject.lcshNanotechnology
dc.subject.lcshThin films
dc.subject.lcshPlasma chemistry
dc.titleNano particles in SiH4-Ar plasma: Modelling and comparison with experimental data
dc.typeArticle
dc.subject.lemacNanopartícules
dc.subject.lemacNanotecnologia
dc.subject.lemacPel·lícules fines
dc.subject.lemacPlasma
dc.contributor.groupUniversitat Politècnica de Catalunya. SPPT - Superfícies, Productes i Processos Tèxtils
dc.identifier.doi10.1063/1.3658249
dc.rights.accessOpen Access
local.identifier.drac9919807
dc.description.versionPostprint (published version)
local.citation.authorGordiets, F.; Inestrosa-Izurieta, M.; Navarro, A.; BERTRAN, E.
local.citation.publicationNameJournal of applied physics
local.citation.volume110
local.citation.number103302
local.citation.startingPage1
local.citation.endingPage8


Fitxers d'aquest items

Thumbnail

Aquest ítem apareix a les col·leccions següents

Mostra el registre d'ítem simple