Nano particles in SiH4-Ar plasma: Modelling and comparison with experimental data
Visualitza/Obre
Cita com:
hdl:2117/15643
Tipus de documentArticle
Data publicació2011-11-24
EditorAmerican Institute of Physics (AIP)
Published by American Institute of Physics
Published by American Institute of Physics
Condicions d'accésAccés obert
Llevat que s'hi indiqui el contrari, els
continguts d'aquesta obra estan subjectes a la llicència de Creative Commons
:
Reconeixement-NoComercial-SenseObraDerivada 3.0 Espanya
CitacióGordiets, F. [et al.]. Nano particles in SiH4-Ar plasma: Modelling and comparison with experimental data. "Journal of applied physics", 24 Novembre 2011, vol. 110, núm. 103302, p. 1-8.
ISSN0021-8979
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
Nanoparticles.pdf | 1,293Mb | Visualitza/Obre |