The project aims to study the behaviour of MIM nanostructures using as an insulating material nanoparticles of Al2O3 and TiO2. The work arises from the research carried out by the MNT group of the UPC, that has analyzed the use of SiO2 nanoparticles as a dielectric material, obtaining a supercapacitive behaviour of the MIM structures. Obtained the previous results, it has been decided to follow the same manufacturing process and the same technology, evaporating aluminium to create the electrodes and using electrospray technique in order to deposit the nanoparticles. The results obtained have shown a purely capacitive behaviour of the MIM structures. The phase of the capacitors resulted stable at -90º and the Bode plot shows a straight line with a negative slope. However, the dependence of the capacity with the humidity vary in a important way during the measures. Alumina structures measurements suffer a very varying capacity (varying from 2pF to 500fF), while titania has a greater stability (varying from 100fF to 600fF).
El proyecto que se presenta pretende estudiar el comportamiento de nanoestructuras MIM utilizando como material aislante nanopartículas de Al2O3 i TiO2. El trabajo nace de la investigación que ha llevado a cabo el grup en MNT de la UPC, que ha analizado el uso de nanobolas de SiO2 como dieléctrico, obteniendo un comportamiento supercapacitivo de la estructura MIM. Obtenidos les resultados previos, se ha seguido el mismo proceso de fabricación i la misma tecnología, evaporando aluminio en el porta-objetos i depositando las nanopartículas mediante la técnica d'electrospray. Los resultados demuestran un comportamiento puramente capacitivo de las estructuras fabricadas. La fase de los condensadores resulta estable a -90º i el diagrama de Bode dibuja una recta con pendiente negativo. No obstante, la dependencia de la capacidad con la humedad resulta notoria en las medidas. En l'alúmina se ha medido una capacidad muy inestable entre los diferentes procesos (variando de 2pF a 500fF), en cambio la titánia parece tener una estabilidad mayor (variando de 100fF a 600fF).
El projecte que es presenta pretén estudiar el comportament de nanoestructures MIM emprant com a material aïllant nanopartícules de Al2O3 i TiO2. El treball neix de la recerca feta pel grup en MNT de la UPC que ha analitzat l'ús de nanoboles de SiO2 com a dielèctric, obtenint un comportament supercapacitiu de l'estructura MIM. Obtinguts els resultats previs, s'ha decidit seguir el mateix procés de fabricació i la mateixa tecnologia, evaporant alumini sobre un portaobjectes per crear els electrodes i dipositant les nanopartícules mitjançant la tècnica d'electrospray. Els resultats obtinguts han demostrat un comportament purament capacitiu de les estructures MIM. La fase dels condensador fabricats ha resultat estable a -90º i el diagrama de Bode mostra una recta amb pendent negatiu. Nogensmenys, la dependència de la capacitat amb la humitat es fa notòria en les mesures, variant de manera important el valor de la capacitats. En l'Alúmina s'hi ha mesurat una capacitat molt variant entre diferents processos (des de 2pF a 500fF), en canvi la titania té una estabilitat major (variant de 100fF a 600fF).
