Modelling the electrostatic actuation of MEMS: state of the art 2005.
Visualitza/Obre
Estadístiques de LA Referencia / Recolecta
Inclou dades d'ús des de 2022
Cita com:
hdl:2117/119
Tipus de documentReport de recerca
Data publicació2005-09
EditorUniversitat Politècnica de Catalunya. Institut d'Organització i Control de Sistemes Industrials
Condicions d'accésAccés obert
Llevat que s'hi indiqui el contrari, els
continguts d'aquesta obra estan subjectes a la llicència de Creative Commons
:
Reconeixement-NoComercial-SenseObraDerivada 2.5 Espanya
Abstract
Most of MEMS devices are actuated using electrostatic forces. Parallel or lateral plate
actuators are the types commonly used. Nevertheless, electrostatic actuation has some
limitations due to its non-linear nature. This work presents a methodic overview of the
existing techniques applied to the Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) electrostatic
actuation modeling and their implications to the dynamic behavior of the electromechanical
system.
Forma partReports IOC; IOC-DT-P-2005-18
Col·leccions
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
DT_Andreu_Fargas 18.pdf | 1,113Mb | Visualitza/Obre |