Macroporous silicon: a versatile material for 3D structure fabrication
Visualitza/Obre
1-s2.0-S092442470700670X-main.pdf (995,1Kb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
Cita com:
hdl:2117/118024
Tipus de documentArticle
Data publicació2008-02
Condicions d'accésAccés restringit per política de l'editorial
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
This work focuses on the fabrication of three-dimensional (3D) microstructures by electrochemical etching of n-type silicon. We exploit the possibility of modulating the pore diameter along the growing direction to produce quasi-3D structures which exhibit periodicity also in third dimension. The fabricated structures are further processed to convert them into truly 3D networks consisting of interconnected silicon veins embedded in air. In particular, we show how a variety of complex 3D networks can be obtained starting from a simple initial pore arrangement, e.g. square or hexagonal. These 3D structures can be easily fabricated with very high precision and uniformity on a large scale. They constitute ideal hosts for sensing applications as well as perfect molds for casting 3D structures of unusual materials.
CitacióTrifonov, T., Rodriguez, A., Marsal, L., Pallares, J., Alcubilla, R. Macroporous silicon: a versatile material for 3D structure fabrication. "Sensors and actuators A. Physical", Febrer 2008, vol. 141, núm. 2, p. 662-669.
ISSN0924-4247
Versió de l'editorhttp://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092442470700670X
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
1-s2.0-S092442470700670X-main.pdf | 995,1Kb | Accés restringit |