Fabrication of two- and three-dimensional photonic crystals by electrochemical etching of silicon
Visualitza/Obre
Trifonov_et_al-2005-physica_status_solidi_%28c%29.pdf (144,8Kb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
Cita com:
hdl:2117/117795
Tipus de documentArticle
Data publicació2005-05
Condicions d'accésAccés restringit per política de l'editorial
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
This paper reports on the fabrication of two-dimensional macropore arrays by electrochemical etching of silicon. We describe some critical effects accompanying the etching process that can generate imperfections in the etched pore pattern. We also give the solutions to improve the pore uniformity and to produce high-aspect-ratio macropores with good structural characteristics. The obtained macroporous structures can be further processed to produce high-aspect-ratio pillars, instead of pores. By modulating the applied etching current we have also induced periodicity in the third dimension.
CitacióTrifonov, T., Marsal, L., Rodriguez, A., Pallarès, J., Alcubilla, R. Fabrication of two- and three-dimensional photonic crystals by electrochemical etching of silicon. "Physica status solidi C", Maig 2005, vol. 2, núm. 8, p. 3104-3107.
ISSN1610-1634
Versió de l'editorhttps://onlinelibrary.wiley.com/doi/abs/10.1002/pssc.200460743
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
Trifonov_et_al- ... _status_solidi_%28c%29.pdf | 144,8Kb | Accés restringit |