New high sensitivity MEMS sensor for indirect pressure measurement
Visualitza/Obre
New MEMS sensor JFPS Fukuoka2017.pdf (617,5Kb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
Estadístiques de LA Referencia / Recolecta
Inclou dades d'ús des de 2022
Cita com:
hdl:2117/116331
Tipus de documentText en actes de congrés
Data publicació2017
EditorThe Japan Fluid Power System Society
Condicions d'accésAccés restringit per política de l'editorial
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
Sensorization of modern electro-hydraulic systems is one of the key technologies for system observability and controllability. Increasing needs for closed loop controls, high precision, power control and energy monitoring, diagnosis and safety concerns, ask for both pressure and flow acquisition in industrial and mobile applications. Pressure sensors need specific coupling systems for mounting, and both pipes and components must be modified to install pressure sensors. Traditional pressure sensors are related to mini-mess and to oil flow modification in the sensor area. Direct pressure measurement is often made using thin film sensors whose measurement principle is related to a strain measurement. Modern Silicon based technologies offer new solutions for a less invasive pressure measurement. Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) Technology is suitable to design new sensors for indirect pressure measurement. This paper present a new MEMS resonant sensor, for low strain measurement that can be successfully used to indirectly measure oil pressure acquiring component’s strain measurement.
CitacióRuggeri, M., Massarotti, G., Codina-Macia, E. New high sensitivity MEMS sensor for indirect pressure measurement. A: JFPS International Symposium on Fluid Power. "The 10th JFPS International Symposium on Fluid Power, Fukuoka 2017, Oct. 24-27, 2017". The Japan Fluid Power System Society, 2017, p. 2A13-1-2A13-6.
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
New MEMS sensor JFPS Fukuoka2017.pdf | 617,5Kb | Accés restringit |