Thin film transistors obtained by hot wire CVD
Visualitza/Obre
1-s2.0-S0022309399009424-main.pdf (150,6Kb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
10.1016/S0022-3093(99)00942-4
Inclou dades d'ús des de 2022
Cita com:
hdl:2117/112402
Tipus de documentArticle
Data publicació2000-05
Condicions d'accésAccés restringit per política de l'editorial
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
Hydrogenated microcrystalline silicon films obtained at low temperature (150–280°C) by hot wire chemical vapour deposition at two different process pressures were measured by Raman spectroscopy, X-ray diffraction (XRD) spectroscopy and photothermal deflection spectroscopy (PDS). A crystalline fraction >90% with a subgap optical absortion 10 cm-1 at 0.8 eV were obtained in films deposited at growth rates >0.8 nm/s. These films were incorporated in n-channel thin film transistors and their electrical properties were measured. The saturation mobility was 0.72 ± 0.05 cm2/V s and the threshold voltage around 0.2 eV. The dependence of their conductance activation energies on gate voltages were related to the properties of the material.
CitacióPuigdollers, J., Orpella, A., Dosev, D., Voz, C., Peiró, D., Pallarés, J., Marsal, L., Bertomeu, J., Andreu Batallé, Jordi, Alcubilla, R. Thin film transistors obtained by hot wire CVD. "Journal of non-crystalline solids", Maig 2000, vol. 266, núm. 269, p. 1304-1309.
ISSN0022-3093
Versió de l'editorhttp://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0022309399009424
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
1-s2.0-S0022309399009424-main.pdf | 150,6Kb | Accés restringit |