Template fabrication of 3D metallic microstructures by electrochemical etching and electroplanting
Visualitza/Obre
Estadístiques de LA Referencia / Recolecta
Inclou dades d'ús des de 2022
Cita com:
hdl:2117/10485
Tipus de documentText en actes de congrés
Data publicació2010
Condicions d'accésAccés obert
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
In this work, we show that macroporous silicon consisting of periodic arrays of etched pores is a feasible alternative for synthesis of 2D and 3d metallic microstructures due to its flexibility in the definition of complex geometries bulk. In addition macroporous silicon features full three-dimensionality, well controlled pore distribution and growth, and scalable dimensions (0.5-100 μm). We present here the fabrication of 3D Ni micro-structures by electroplating of macroporous silicon templates. The given approach can be applied for depositions of different metals and in more complicated template-structures.
CitacióHernandez, D. [et al.]. Template fabrication of 3D metallic microstructures by electrochemical etching and electroplanting. A: Encuentro Franco-Español de Química y Física del Estado Sólido. "VI Encuentro Franco-Español de Química y Física del Estado Sólido". Tarragona: 2010.
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
Angel_Tarragona_Template.pdf | Abstract | 794,9Kb | Visualitza/Obre |