An Introduction to micro electro mechanical systems (MEMS)
Visualitza/Obre
Estadístiques de LA Referencia / Recolecta
Inclou dades d'ús des de 2022
Cita com:
hdl:2099/10090
Tipus de documentArticle
Data publicació2005
EditorEscola Tècnica Superior d'Enginyers de Telecomunicació de Barcelona
Condicions d'accésAccés obert
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
The remarkable progress ofMEMS (Micro
Electro Mechanical Systems) research has
reached the stage where practical applications
are intensely pursued. Based on highperformance
systems cornmercial products have
made remarkable progress in many fields. This
paper discusses the underlying principIes for
MEMS, going over the materials and processes
used for their fabrication. It also presents two
state of the art examples, under development in
the industry. A brief discussion of terminology
is also included.
CitacióSáenz, Juan Pablo. An Introduction to micro electro mechanical systems (MEMS). "Buran", 2005, núm. 22, p. 13-18.
ISSN2013-9713
Col·leccions
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
Article004.pdf | 2,370Mb | Visualitza/Obre |