[ANGLÈS] The approach in this project is the experimental full design, operational principle and frequency response simulation, of a one-port Surface Acoustic Wave resonator (SAW), with a frequency around 500MHz - 1GHz tunable when an electric field is applied. First the response is simulated through an ideal equivalent circuit with lumped elements with the ADS Software. After that, the results are discussed and the equivalent structure layout is obtained. The main structure proposed of the design of the tunable resonator in this report is a structure based, first of all in two different types of top electrode, trying to obtain different responses with Platinum or Aluminium. Secondly, the top electrode is deposited over a BST piezoelectric, which gives the tunable characteristic the one-port resonator and finally all of these layers are deposited on the top of a sapphire substrate, creating the final layout. In addition, when the structure is decided, the design is drawn and simulated with ADS momentum to obtain an accurate response about the resonator. Finally the resonator is fabricated in the clear room, the results of the response are obtained in the lab and the response is discussed trying to visualize the tunable response when a voltage is applied.
[CASTELLÀ] El enfoque de este proyecto es el diseño experimental completo, principio de funcionamiento y la simulación de respuesta de frecuencia , de un resonador de un puerto sobre una superfície de onda acústica (SAW), con una frecuencia de alrededor de 500 MHz - 1 GHz sintonizable cuando se aplica un campo eléctrico. En primer lugar la respuesta se simula a través de un circuito equivalente ideal, con elementos ideales con el Software ADS. Después los resultados se discuten y se obtiene el diseño de la estructura equivalente ideal . La estructura principal propuesta del diseño del resonador sintonizable en este informe es una estructura basada en primer lugar, en un electrodo superior, a elegir entre dos tipos de materiales diferentes, tratando de obtener diferentes respuestas con platino o aluminio. En segundo lugar, el electrodo superior se deposita sobre un piezoeléctrico BST, que da la característica del resonador de un puerto sintonizable. Finalmente, todas estas capas se depositan en la parte superior de un sustrato de zafiro, creando el diseño final Además, cuando se decide la estructura, el diseño se dibuja y simula con ADS para obtener una respuesta precisa sobre el resonador . Por último, el resonador se fabrica en la sala blanca, los resultados de la respuesta se obtienen en el laboratorio y se discuten tratando de visualizar una respuesta sintonizable cuando se aplica un voltaje.
[CATALÀ] L'enfocament d'aquest projecte és el disseny experimental complet, principi de funcionament i la simulació de resposta de freqüència , d'un ressonador d'un port sobre una superfície d'ona acústica (SAW) , amb una freqüència al voltant de 500 MHz - 1 GHz sintonitzable quan s'aplica un camp elèctric . En primer lloc la resposta es simula a través d'un circuit equivalent ideal, amb elements ideals amb el software ADS. Després els resultats es discuteixen i s'obté el disseny de l'estructura equivalent ideal. L'estructura principal proposta del disseny del ressonador sintonitzable en aquest informe és una estructura basada en primer lloc, en un elèctrode superior, a triar entre dos tipus de materials diferents, tractant d'obtenir diferents respostes amb platí o alumini. En segon lloc, l'elèctrode superior es diposita sobre un piezoelèctric BST, obtenint la característica del ressonador d'un port sintonitzable. Finalment, totes aquestes capes es dipositen a la part superior d'un substrat de safir, creant el disseny final. A més, quan es decideix l'estructura, el disseny es dibuixa i simula amb ADS per obtenir una resposta precisa sobre el ressonador . Finalment, el ressonador es fabrica a la sala de clar , els resultats de la resposta s'obtenen en el laboratori i es discuteixen tractant de visualitzar una resposta sintonitzable quan s'aplica un voltatge.
