Caracterización de interruptores MEMS mediante fuentes de corriente

Abstract

El presente proyecto caracteriza mediante fuentes de corriente interruptores microelectromecánicos (MEMS) con el objetivo de estudiar los fenómenos de carga que se producen sobre el material dieléctrico presente en estos dispositivos. Dichos fenómenos de carga son los responsables de la pérdida de fiabilidad y reducen significativamente la durabilidad de esta tipología de MEMS. El efecto de carga que determina la fiabilidad y vida útil de estos dispositivos es el efecto denominado dielectric charging, el cual viene determinado por la inyección y acumulación de carga en el dieléctrico. La actuación por corriente es novedosa en los interruptores MEMS y ofrecen, al contrario de la actuación más común -por tensión-, una optimización del consumo energético. Además, la actuación por corriente permite mayor control de la carga inyectada en los dispositivos, lo cual incrementa la vida útil de los interruptores MEMS. La caracterización de los interruptores MEMS se ha programado con LabVIEW lo que ha permitido automatizar en gran medida el proceso de configuración, control y adquisición de datos del instrumental utilizado. Esta automatización ha hecho posible la obtención de cuantiosos resultados de las pruebas de estrés, con diferentes valores y formas de onda de corriente. Los resultados de la caracterización son el paso previo y necesario a la realización de las pruebas sobre la fiabilidad y duración útil de los interruptores MEMS. Pruebas que permitirán optimizar e incrementar la fiabilidad y la duración útil de los interruptores MEMS.