A mixed-signal control system for Lorentz-force resonant MEMS magnetometers

Carregant...
Miniatura
El pots comprar en digital a:
El pots comprar en paper a:

Projectes de recerca

Unitats organitzatives

Número de la revista

Títol de la revista

ISSN de la revista

Títol del volum

Col·laborador

Editor

Tribunal avaluador

Realitzat a/amb

Tipus de document

Article

Data publicació

Editor

Condicions d'accés

Accés obert

item.page.rightslicense

Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització de la persona titular dels drets

Assignatures relacionades

Assignatures relacionades

Publicacions relacionades

Datasets relacionats

Datasets relacionats

Projecte CCD

Abstract

This paper presents a mixed-signal closed-loop control system for Lorentz force resonant MEMS magnetometers. The control system contributes to 1) the automatic phase control of the loop, that allows start-up and keeps self-sustained oscillation at the MEMS resonance frequency, and 2) output offset reduction due to electrostatic driving by selectively disabling it. The proposed solution proof-of-concept has been tested with a Lorentz force-based MEMS magnetometer. The readout electronic circuitry has been implemented on a printed circuit board with off-the-shelf components. Digital control has been implemented in an FPGA coded with VHDL. When biased with 1 V and a driving current of 300 µArms, the device shows 9.75 pA/µT sensitivity and total sensor white noise of 550 nT/vHz. Offset when electrostatic driving is disabled is 793 µT, which means a 40.1% reduction compared when electrostatic driving is enabled. Moreover, removing electrostatic driving does not worsen bias instability, which is lower than 125 nT in both driving cases.

Descripció

Persones/entitats

Document relacionat

Versió de

Citació

J.M. Sánchez-Chiva [et al.]. A mixed-signal control system for Lorentz-force resonant MEMS magnetometers. "IEEE sensors journal", 1 Setembre 2019, vol. 19, núm. 17, p. 7479-7488.

Ajut

Forma part

Dipòsit legal

ISBN

ISSN

1530-437X

Altres identificadors

Referències