Atomic layer deposition of vanadium oxide films for crystalline silicon solar cells

Carregant...
Miniatura
El pots comprar en digital a:
El pots comprar en paper a:

Projectes de recerca

Unitats organitzatives

Número de la revista

Títol de la revista

ISSN de la revista

Títol del volum

Col·laborador

Editor

Tribunal avaluador

Realitzat a/amb

Tipus de document

Article

Data publicació

Editor

Royal Society of Chemistry (RSC)

Condicions d'accés

Accés obert

Llicència

Creative Commons
Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Llevat que s'hi indiqui el contrari, els seus continguts estan subjectes a la llicència de Creative Commons: Reconeixement-NoComercial-SenseObraDerivada 3.0 Espanya

Assignatures relacionades

Assignatures relacionades

Publicacions relacionades

Datasets relacionats

Datasets relacionats

Projecte CCD

Abstract

Transition metal oxides (TMOs) are promising materials to develop selective contacts on high-efficiency crystalline silicon solar cells. Nevertheless, the standard deposition technique used for TMOs is thermal evaporation, which could add potential scalability problems to industrial photovoltaic fabrication processes. As an alternative, atomic layer deposition (ALD) is a thin film deposition technique already used for dielectric deposition in the semiconductor device industry that has a straightforward up scalable design. This work reports the results of vanadium oxide (V2O5) films deposited by ALD acting as a hole-selective contact for n-type crystalline silicon (c-Si) solar cell frontal transparent contact without the additional PECVD passivating layer. A reasonable specific contact resistance of 100 mO cm2 was measured by the transfer length method. In addition, measurements suggest the presence of an inversion layer at the c-Si/V2O5 interface with a sheet resistance of 15 kO sq-1. The strong band bending induced at the c-Si surface was confirmed through capacitance–voltage measurements with a built-in voltage value of 683 mV. Besides low contact resistance, vanadium oxide films provide excellent surface passivation with effective lifetime values of up to 800 µs. Finally, proof-of-concept both-side contacted solar cells exhibit efficiencies beyond 18%, shedding light on the possibilities of TMOs deposited by the atomic layer deposition technique.

Descripció

Persones/entitats

Document relacionat

Versió de

Citació

Ros, E. [et al.]. Atomic layer deposition of vanadium oxide films for crystalline silicon solar cells. "Materials advances", 2022, vol. 3, núm. 1, p. 337-345.

Ajut

Forma part

Dipòsit legal

ISBN

ISSN

2633-5409

Altres identificadors

Referències