A thickness-shear MEMS resonator employing electromechanical transduction through a coplanar waveguide

Carregant...
Miniatura

Fitxers

06243722.pdf (994.02 KB) (Accés restringit) Sol·licita una còpia a l'autor
El pots comprar en digital a:
El pots comprar en paper a:

Projectes de recerca

Unitats organitzatives

Número de la revista

Títol de la revista

ISSN de la revista

Títol del volum

Cita com:

Col·laborador

Editor

Tribunal avaluador

Realitzat a/amb

Tipus de document

Text en actes de congrés

Data publicació

Editor

Condicions d'accés

Accés restringit per política de l'editorial

Llicència

Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització de la persona titular dels drets

Assignatures relacionades

Assignatures relacionades

Publicacions relacionades

Datasets relacionats

Datasets relacionats

Projecte CCD

Abstract

The design, modeling, fabrication, and characterization of a vibrationally trapped thickness-shear MEMS resonator is presented. This device is intended to avoid various limitations of flexural MEMS resonators, including nonlinearity, clamping losses, thermoelastic damping, and high damping in liquid. It includes a silicon bridge and a reference line on an SOI wafer, a coupled Au/Cr coplanar waveguide, Lorentz-force coupling, variations in waveguide thickness for vibrational trapping, and circuitry for nulling the components of the signal that are unrelated to the acoustic resonance. Finite-element vibrational modeling shows the lowest thickness-shear mode with a bridge thickness of 4.9 µm to be dominated by shear displacements, with the magnitude of out-of-plane displacements decreasing with increasing bridge width. Two-dimensional modeling of vibrational trapping, with central regions of the waveguides having 43 nm greater thickness, indicates that amplitudes are reduced by several orders of magnitude at the ends of the bridges for the fundamental ~ 400 MHz thickness-shear resonance. Sweptfrequency network-analyzer measurements of fabricated devices reveal no evidence for an acoustic resonance, despite a calculated prediction of levels of acoustic power absorption that are well above the measured noise level. A possible explanation for this result is stiction of the bridges to the substrate.

Descripció

Persones/entitats

Document relacionat

Versió de

Citació

Johnson, W., Wallis, T., Kabos, P., Rocas, E., Collado, J., Liew, L., Ha, J., Davydov, A., Plankis, A., Heyliger, P. A thickness-shear MEMS resonator employing electromechanical transduction through a coplanar waveguide. A: IEEE Frequency Control Symposium. "2012 IEEE International Frequency Control Symposium, IFCS 2012, Proceedings". 2012, p. 452-457.

Ajut

Forma part

Dipòsit legal

ISBN

978-145771819-9

ISSN

Versió de l'editor

Altres identificadors

Referències