Control of MEMS vibration modes with pulsed digital Oscillators. Part II: simulation and experimental results
Carregant...
Fitxers
El pots comprar en digital a:
El pots comprar en paper a:
Títol de la revista
ISSN de la revista
Títol del volum
Col·laborador
Editor
Tribunal avaluador
Realitzat a/amb
Tipus de document
Article
Data publicació
Editor
Condicions d'accés
Accés obert
item.page.rightslicense
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització de la persona titular dels drets
Publicacions relacionades
Datasets relacionats
Projecte CCD
Abstract
This paper extends our previous work on the selective excitation of mechanical vibration modes in MEMS devices using pulsed digital oscillators (PDOs). It begins by presenting extensive simulation results using the set of iterative maps that model the system and showing that it is possible to activate two or three spatial modes (resonances) of the mechanical structure with a PDO. The second part of this paper presents experimental results corroborating the theory and simulation results. It is shown that it is possible to separately excite vibration modes of the device by setting a few parameters of the PDO structure such as the sampling frequency and the sign of the feedback loop.
Descripció
Persones/entitats
Document relacionat
Versió de
Citació
Ricart, J. [et al.]. Control of MEMS vibration modes with pulsed digital Oscillators. Part II: simulation and experimental results. "IEEE transactions on circuits and systems I: regular papers", Agost 2010, vol. 57, núm. 8, p. 1879-1890.
Ajut
Forma part
Dipòsit legal
ISBN
ISSN
1549-8328



