Control of MEMS vibration modes with pulsed digital Oscillators. Part II: simulation and experimental results

Carregant...
Miniatura
El pots comprar en digital a:
El pots comprar en paper a:

Projectes de recerca

Unitats organitzatives

Número de la revista

Títol de la revista

ISSN de la revista

Títol del volum

Col·laborador

Editor

Tribunal avaluador

Realitzat a/amb

Tipus de document

Article

Data publicació

Editor

Condicions d'accés

Accés obert

item.page.rightslicense

Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització de la persona titular dels drets

Assignatures relacionades

Assignatures relacionades

Publicacions relacionades

Datasets relacionats

Datasets relacionats

Projecte CCD

Abstract

This paper extends our previous work on the selective excitation of mechanical vibration modes in MEMS devices using pulsed digital oscillators (PDOs). It begins by presenting extensive simulation results using the set of iterative maps that model the system and showing that it is possible to activate two or three spatial modes (resonances) of the mechanical structure with a PDO. The second part of this paper presents experimental results corroborating the theory and simulation results. It is shown that it is possible to separately excite vibration modes of the device by setting a few parameters of the PDO structure such as the sampling frequency and the sign of the feedback loop.

Descripció

Persones/entitats

Document relacionat

Versió de

Citació

Ricart, J. [et al.]. Control of MEMS vibration modes with pulsed digital Oscillators. Part II: simulation and experimental results. "IEEE transactions on circuits and systems I: regular papers", Agost 2010, vol. 57, núm. 8, p. 1879-1890.

Ajut

Forma part

Dipòsit legal

ISBN

ISSN

1549-8328

Altres identificadors

Referències