Fabricacion y caracterizacion de guias opticas integradas sobre sustratos de silicio
Carregant...
El pots comprar en digital a:
El pots comprar en paper a:
Títol de la revista
ISSN de la revista
Títol del volum
Col·laborador
Editor
Tribunal avaluador
Realitzat a/amb
Tipus de document
Text en actes de congrés
Data publicació
Editor
Condicions d'accés
Accés obert
item.page.rightslicense
Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Llevat que s'hi indiqui el contrari, els seus continguts estan subjectes a la llicència de Creative Commons: Reconeixement-NoComercial-SenseObraDerivada 3.0 Espanya
Publicacions relacionades
Datasets relacionats
Projecte CCD
Abstract
Silicon nitride (Si 3 N4 ) planar optical waveguides have been successfully grown by lowpressure chemical vapor deposition (LPCVD). Silicon p-type wafers with a (100) orientation were used as substrates, and the Si3 N4 was separated from the lossy Si substrate by a thermally grown SiO2 thin film.
Descripció
Persones/entitats
Document relacionat
Versió de
Citació
Torner, L., Alcubilla, R., Calderer, J. Fabricacion y caracterizacion de guias opticas integradas sobre sustratos de silicio. A: Simposium Nacional de la Unión Científica Internacional de Radio. "VI Simposium Nacional de la Unión Científica Internacional de Radio. URSI 1991". Caceres: 1991, p. 1145-1149.
Ajut
Forma part
DOI
Dipòsit legal
ISBN
84-600-7766-7
ISSN
Altres identificadors
Referències
Col·leccions
Altres - Enviament des de DRAC
MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies - Ponències/Comunicacions de congressos
Departament d'Enginyeria Electrònica - Ponències/Comunicacions de congressos
Departament de Teoria del Senyal i Comunicacions - Ponències/Comunicacions de congressos
FOTONICA - Grup de Recerca de Fotònica - Ponències/Comunicacions de congressos
MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies - Ponències/Comunicacions de congressos
Departament d'Enginyeria Electrònica - Ponències/Comunicacions de congressos
Departament de Teoria del Senyal i Comunicacions - Ponències/Comunicacions de congressos
FOTONICA - Grup de Recerca de Fotònica - Ponències/Comunicacions de congressos