Recombination processes in passivated boron-implanted black silicon emitters

Carregant...
Miniatura
El pots comprar en digital a:
El pots comprar en paper a:

Projectes de recerca

Unitats organitzatives

Número de la revista

Títol de la revista

ISSN de la revista

Títol del volum

Col·laborador

Editor

Tribunal avaluador

Realitzat a/amb

Tipus de document

Article

Data publicació

Editor

American Institute of Physics (AIP)

Condicions d'accés

Accés obert

item.page.rightslicense

Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització de la persona titular dels drets

Assignatures relacionades

Assignatures relacionades

Publicacions relacionades

Datasets relacionats

Datasets relacionats

Projecte CCD

Abstract

In this paper, we study the recombination mechanisms in ion-implanted black silicon (bSi) emitters and discuss their advantages over diffused emitters. In the case of diffusion, the large bSi surface area increases emitter doping and consequently Auger recombination compared to a planar surface. The total doping dose is on the contrary independent of the surface area in implanted emitters, and as a result, we show that ion implantation allows control of emitter doping without compromise in the surface aspect ratio. The possibility to control surface doping via implantation anneal becomes highly advantageous in bSi emitters, where surface passivation becomes critical due to the increased surface area. We extract fundamental surface recombination velocities Sn through numerical simulations and obtain the lowest values at the highest anneal temperatures. With these conditions, an excellent emitter saturation current (J0e) is obtained in implanted bSi emitters, reaching 20 fA/cm2 ± 5 fA/cm2 at a sheet resistance of 170 O/sq. Finally, we identify the different regimes of recombination in planar and bSi emitters as a function of implantation anneal temperature. Based on experimental data and numerical simulations, we show that surface recombination can be reduced to a negligible contribution in implanted bSi emitters, which explains the low J0e obtained.

Descripció

Persones/entitats

Document relacionat

Versió de

Citació

von Gastrow, G., Ortega, P., Alcubilla, R., Husein, S., Nietzold, T., Bertoni, M., Savin, H. Recombination processes in passivated boron-implanted black silicon emitters. "Journal of applied physics", 14 Maig 2017, vol. 121, núm. 18, p. 185706-1-185706-7.

Ajut

Forma part

Dipòsit legal

ISBN

ISSN

0021-8979

Altres identificadors

Referències