Nonlinear actuation model for lateral electrostatically-actuated DC-contact RF MEMS series switches.
Carregant...
Fitxers
El pots comprar en digital a:
El pots comprar en paper a:
Títol de la revista
ISSN de la revista
Títol del volum
Col·laborador
Editor
Tribunal avaluador
Realitzat a/amb
Tipus de document
Article
Data publicació
Editor
JOHN WILEY & SONS INC
Condicions d'accés
Accés obert
item.page.rightslicense
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització de la persona titular dels drets
Publicacions relacionades
Datasets relacionats
Projecte CCD
Abstract
In this work, a nonlinear model to predict actuation characteristics in lateral electrostatically-actuated DC-contact MEMS switches is proposed. In this case a parallel-plate approximation cannot be applied. The model is based on the equilibrium equation for an elastic beam. It is demonstrated that the contribution of fringing fields is essential. The model relies on finite-difference discretization of the structures, applying boundary conditions and is solved with a Gauss- Seidel relaxation iteration scheme. Its usefulness is demonstrated in a series MEMS switch with lateral interdigital electrostatic actuation.
Descripció
Persones/entitats
Document relacionat
Versió de
Citació
Lazaro, A.; Girbau, D.; Pradell, L., Nebot, A. Nonlinear actuation model for lateral electrostatically-actuated DC-contact RF MEMS series switches. MICROWAVE AND OPTICAL TECHNOLOGY LETTERS, 2007, vol. 49, núm. 6, p. 1238-1241.
Ajut
Forma part
DOI
Dipòsit legal
ISBN
ISSN
0895-2477

