Nonlinear actuation model for lateral electrostatically-actuated DC-contact RF MEMS series switches.

Carregant...
Miniatura
El pots comprar en digital a:
El pots comprar en paper a:

Projectes de recerca

Unitats organitzatives

Número de la revista

Títol de la revista

ISSN de la revista

Títol del volum

Col·laborador

Editor

Tribunal avaluador

Realitzat a/amb

Tipus de document

Article

Data publicació

Editor

JOHN WILEY & SONS INC

Condicions d'accés

Accés obert

item.page.rightslicense

Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització de la persona titular dels drets

Assignatures relacionades

Assignatures relacionades

Publicacions relacionades

Datasets relacionats

Datasets relacionats

Projecte CCD

Abstract

In this work, a nonlinear model to predict actuation characteristics in lateral electrostatically-actuated DC-contact MEMS switches is proposed. In this case a parallel-plate approximation cannot be applied. The model is based on the equilibrium equation for an elastic beam. It is demonstrated that the contribution of fringing fields is essential. The model relies on finite-difference discretization of the structures, applying boundary conditions and is solved with a Gauss- Seidel relaxation iteration scheme. Its usefulness is demonstrated in a series MEMS switch with lateral interdigital electrostatic actuation.

Descripció

Persones/entitats

Document relacionat

Versió de

Citació

Lazaro, A.; Girbau, D.; Pradell, L., Nebot, A. Nonlinear actuation model for lateral electrostatically-actuated DC-contact RF MEMS series switches. MICROWAVE AND OPTICAL TECHNOLOGY LETTERS, 2007, vol. 49, núm. 6, p. 1238-1241.

Ajut

Forma part

DOI

Dipòsit legal

ISBN

ISSN

0895-2477

Versió de l'editor

Altres identificadors

Referències