3D metallo-dielectric structures combining electrochemical and electroplating techniques

Carregant...
Miniatura

Fitxers

3D metallo-dielectric structures.pdf (913.81 KB) (Accés restringit) Sol·licita una còpia a l'autor
El pots comprar en digital a:
El pots comprar en paper a:

Projectes de recerca

Unitats organitzatives

Número de la revista

Títol de la revista

ISSN de la revista

Títol del volum

Col·laborador

Editor

Tribunal avaluador

Realitzat a/amb

Tipus de document

Article

Data publicació

Editor

Condicions d'accés

Accés restringit per política de l'editorial

Llicència

Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització de la persona titular dels drets

Assignatures relacionades

Assignatures relacionades

Publicacions relacionades

Datasets relacionats

Datasets relacionats

Projecte CCD

Abstract

Three-dimensional (3D) periodic nickel micro-structures with a periodicity of 4 μm and high number of structural periods were fabricated by electrodeposition. Macroporous silicon, consisting of periodic arrays of sine-wave modulated pores, was used as a deposition template. It was prepared by electrochemical etching of silicon and subsequent pore widening by multiple oxidation/oxide-removal steps. The pore widening allows to open windows between adjacent pores obtaining a 3D network of interconnected voids embedded in silicon. This structure is then void-free filled with nickel in the electroplating process. The combination of electrochemical etching and electroplating techniques opens a route for the fabrication of large-scale 3D-periodic metallic micro-structures.

Descripció

Persones/entitats

Document relacionat

Versió de

Citació

Hernández, D. [et al.]. 3D metallo-dielectric structures combining electrochemical and electroplating techniques. "Microelectronic engineering", Juny 2010, vol. 87, núm. 5-8, p. 1458-1462.

Ajut

Forma part

Dipòsit legal

ISBN

ISSN

0167-9317

Altres identificadors

Referències