Simultaneous control of dielectric charging and device capacitance for contactless electrostatic MEMS
Visualitza/Obre
PFC_SGM.pdf (1,393Mb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
Estadístiques de LA Referencia / Recolecta
Inclou dades d'ús des de 2022
Cita com:
hdl:2117/97460
Tipus de documentProjecte/Treball Final de Carrera
Data2016-09-20
Condicions d'accésAccés restringit per decisió de l'autor
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
Simultaneous control of dielectric charging and device capacitance for contactless electrostatic MEMS Método de control para la estabilización de la carga atrapada en la capa dieléctrica de dispositivos MEMS y su capacidad. Mètode de control per a l'estabilització de la càrrega atrapada en la capa dielèctrica de dispositius MEMS i la seva capacitat.
Descripció
Design, implementation and experimental verification of a control system for simultaneous control of dielectric charge and device capacitance in contactless capacitive MEMS.
MatèriesElectromechanical decives, Electronic control, Dispositius electromecànics, Control electrònic
TitulacióENGINYERIA ELECTRÒNICA (Pla 1992)
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
PFC_SGM.pdf | 1,393Mb | Accés restringit |