3D metallo-dielectric structures combining electrochemical and electroplating techniques
Visualitza/Obre
3D metallo-dielectric structures.pdf (913,8Kb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
Cita com:
hdl:2117/7150
Tipus de documentArticle
Data publicació2010-06
Condicions d'accésAccés restringit per política de l'editorial
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
Three-dimensional (3D) periodic nickel micro-structures with a periodicity of 4 μm and high number of structural periods were fabricated by electrodeposition. Macroporous silicon, consisting of periodic arrays of sine-wave modulated pores, was used as a deposition template. It was prepared by electrochemical etching of silicon and subsequent pore widening by multiple oxidation/oxide-removal steps. The pore widening allows to open windows between adjacent pores obtaining a 3D network of interconnected voids embedded in silicon. This structure is then void-free filled with nickel in the electroplating process. The combination of electrochemical etching and electroplating techniques opens a route for the fabrication of large-scale 3D-periodic metallic micro-structures.
CitacióHernández, D. [et al.]. 3D metallo-dielectric structures combining electrochemical and electroplating techniques. "Microelectronic engineering", Juny 2010, vol. 87, núm. 5-8, p. 1458-1462.
ISSN0167-9317
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
3D metallo-dielectric structures.pdf | 913,8Kb | Accés restringit |