Real-time characterization of dielectric charging in contactless capacitive MEMS
Visualitza/Obre
Cita com:
hdl:2117/27244
Tipus de documentArticle
Data publicació2015-03-01
Condicions d'accésAccés obert
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
This paper presents a new method to characterize the dynamics of the charge trapped in the dielectric layer of contactless microelectromechanical systems. For sampled-time systems, this allows knowing the state of the net charge at each sampling time without distorting the measurement. This approach allows one to model the expected behaviour of dielectric charging as a response to a sigma-delta control of charge. The goodness of the proposed approach is obtained by matching the experimentally obtained closed loop response with the one predicted using the proposed characterization method. The characterization method also provides a criterion to avoid nonlinear effects, such as fractal-like behaviour, in charge control.
CitacióDominguez, M. [et al.]. Real-time characterization of dielectric charging in contactless capacitive MEMS. "Analog integrated circuits and signal processing", 01 Març 2015, vol. 82, núm. 3, p. 559-569.
ISSN0925-1030
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
ALOG-charge-vUPCommons.pdf | 1,068Mb | Visualitza/Obre |