Delta-sigma control of dielectric charge for contactless capacitive MEMS
Visualitza/Obre
Article principal (2,107Mb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
Cita com:
hdl:2117/24849
Tipus de documentArticle
Data publicació2014-08-01
Condicions d'accésAccés restringit per política de l'editorial
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
In this paper, we present a new closed-loop control method of dielectric charge for contactless capacitive microelectromechanical systems. The method uses a feedback loop to maintain the net charge in the dielectric layer at the desired level. We show that, under particular conditions, the control loop is similar to a thermal sigma-delta modulator as used in thermal sensors. In this way, the control actuation will inject an average charge into the dielectric to keep it at a desired level while applying an actuation bit stream to compensate the charge being continuously leaked out of the dielectric. The validation of the method is carried out employing numerical simulation and experimental measurements of Poly-MUMPS devices. [2013-0217]
CitacióGorreta, S. [et al.]. Delta-sigma control of dielectric charge for contactless capacitive MEMS. "Journal of microelectromechanical systems", 01 Agost 2014, vol. 23, núm. 4, p. 829-841.
ISSN1057-7157
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
Delta-Sigma Control of Dielectric.pdf | Article principal | 2,107Mb | Accés restringit |