Effect of amorphous silicon carbide layer thickness on the passivation quality of crystalline silicon surface
Visualitza/Obre
Vetter.pdf (74,79Kb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
Cita com:
hdl:2117/2439
Tipus de documentArticle
Data publicació2005-11-09
EditorAmerican Institute of Physics
Condicions d'accésAccés restringit per política de l'editorial
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
Surface passivation of p-type crystalline silicon wafers by means of phosphorus-doped
hydrogenated amorphous silicon carbide films [a-SiCx(n):H] has been investigated. Particularly, we
focused on the effects of layer thickness on the c-Si surface passivation quality resulting in the
determination of the fixed charge density, Qf, within the a-SiCx(n):H film and the fundamental
recombination of holes, Sp0. The main result is that surface recombination velocity decreases with
film thickness up to 40 nm and then saturates. The evolution of the interface parameters indicates
that Qf could be located in a layer less than 10 nm thick. In addition, Sp0 increases with thinner films
probably due to different hydrogenation and saturation of interface dangling bonds during forming
gas annealing.
CitacióFerre, R.; Martín, I.; Vetter, M.; Garín, M.; Alcubilla, R. Effect of amorphous silicon carbide layer thickness on the passivation quality of crystalline silicon surface. A: Applied Physics Letters, 2005, VOL. 87, 202109.
ISSN0003-6951
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
Vetter.pdf | 74,79Kb | Accés restringit |