Micropower thermoelectric generator from thin Si membranes
Visualitza/Obre
10.1016/j.nanoen.2013.12.007
Inclou dades d'ús des de 2022
Cita com:
hdl:2117/22963
Tipus de documentArticle
Data publicació2014-03-23
Condicions d'accésAccés obert
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
We report the development of a Si-based micro thermogenerator build from silicon-on-insulator by using standard CMOS processing. Ultrathin single-crystalline Si membranes, 100 nm in thickness, with embedded n and p-type doped regions electrically connected in series and thermally in parallel, are active elements of the thermoelectric device that generate thermopower under various thermal gradients. This proof-of-concept device produces an output power density of 4.5 µW/cm2, under a temperature difference of 5 K, opening the way to envisage integration as wearable thermoelectrics for body energy scavenging.
CitacióPérez, A. [et al.]. Micropower thermoelectric generator from thin Si membranes. "Nano Energy", 23 Març 2014, vol. 4, p. 73-80.
ISSN2211-2855
Versió de l'editorhttp://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S2211285513001973
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
TEG paper pre_print.pdf | 736,4Kb | Visualitza/Obre |