Multilayer ISFET membranes for microsystems applications
Visualitza/Obre
1-s2.0-S0925400597800433-main.pdf (850,3Kb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
10.1016/S0925-4005(97)80043-3
Inclou dades d'ús des de 2022
Cita com:
hdl:2117/21007
Tipus de documentArticle
Data publicació1996-09-01
Condicions d'accésAccés restringit per política de l'editorial
Llevat que s'hi indiqui el contrari, els
continguts d'aquesta obra estan subjectes a la llicència de Creative Commons
:
Reconeixement-NoComercial-SenseObraDerivada 3.0 Espanya
Abstract
The fabrication of microsystems in which chemical measurements play a role make the on-chip combination of chemical sensors and signal processing circuitry highly desirable. Chemical sensors use sensitive layers which are not a part of MOS devices and in this sense, the determination of the best sensors and technological processes to achieve good integrated smart sensors is very important. In this paper a study of compatibility of ISFET chemical sensors and CMOS circuitry is presented for application to biomedical microsystems.
CitacióCané, C. [et al.]. Multilayer ISFET membranes for microsystems applications. "Sensors and actuators B. Chemical", 01 Setembre 1996, vol. 1-3, núm. 136-140, p. 35-36.
ISSN0925-4005
Versió de l'editorhttp://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0925400597800433
Col·leccions
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
1-s2.0-S0925400597800433-main.pdf | 850,3Kb | Accés restringit |