Mostra el registre d'ítem simple

dc.contributor.authorBoronat Moreiro, Alfredo
dc.contributor.authorSilvestre Bergés, Santiago
dc.contributor.authorOrpella García, Alberto
dc.contributor.otherUniversitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica
dc.date.accessioned2013-09-16T15:11:10Z
dc.date.available2013-09-16T15:11:10Z
dc.date.created2013-09-12
dc.date.issued2013-09-12
dc.identifier.citationBoronat, A.; Silvestre, S.; Orpella, A. Ohmic contacts fabricated on moderately doped p-type GaAs by sputtering deposition and a laser-firing process. "Journal of Vacuum Science and Technology B", 12 Setembre 2013, vol. 31, núm. 5, p. 051209-1-051209-7.
dc.identifier.issn2166-2746
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2117/20142
dc.description.abstractA novel approach is used to achieve ohmic contacts on moderately doped p-type GaAs substrates. A laser-firing process is used instead of the conventional annealing step. The morphology of the crater created by the laser-firing process and the electrical response of the metal–semiconductor contact are characterized.
dc.language.isoeng
dc.rightsAttribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Spain
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/
dc.subjectÀrees temàtiques de la UPC::Enginyeria de la telecomunicació::Telecomunicació òptica::Fotònica
dc.subjectÀrees temàtiques de la UPC::Enginyeria de la telecomunicació::Telecomunicació òptica
dc.subject.lcshTemperature measurements
dc.subject.lcshPhotonics
dc.subject.otherGaAs
dc.subject.otherohmic contact
dc.subject.otherlaser firing
dc.titleOhmic contacts fabricated on moderately doped p-type GaAs by sputtering deposition and a laser-firing process
dc.typeArticle
dc.subject.lemacTermometria
dc.subject.lemacFotònica
dc.contributor.groupUniversitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
dc.identifier.doi10.1116/1.4820912
dc.description.peerreviewedPeer Reviewed
dc.relation.publisherversionhttp://avspublications.org/jvstb/resource/1/jvtbd9/v31/i5/p051209_s1
dc.rights.accessOpen Access
local.identifier.drac12761715
dc.description.versionPostprint (published version)
local.citation.authorBoronat, A.; Silvestre, S.; Orpella, A.
local.citation.publicationNameJournal of Vacuum Science and Technology B
local.citation.volume31
local.citation.number5
local.citation.startingPage051209-1
local.citation.endingPage051209-7


Fitxers d'aquest items

Thumbnail

Aquest ítem apareix a les col·leccions següents

Mostra el registre d'ítem simple