A low-power-consumption out-of-Plane electrothermal actuator
Visualitza/Obre
Tipus de documentArticle
Data publicació2007-06-30
EditorIEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
Condicions d'accésAccés obert
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
This paper proposes a new vertical electrothermal actuator. It can be considered as a hybrid between the traditional in-plane buckle-beam actuator and the vertical hot-cold actuator. It is here referred to as vertical buckle beam. At identical dimensional and bias conditions, it features a displacement larger than that of other vertical electrothermal actuators proposed so far in the literature. The actuator performance is demonstrated by means of an analytical model along with finite-element analysis. It is applied as a driving element in parallel-plate capacitors, where it is validated and its advantages in terms of power consumption are demonstrated empirically.
CitacióGirbau, D.; Llamas, M. A.; Casals, J.; Simó, X.; Pradell, L.; Lázaro, A. A low-power-consumption out-of-Plane electrothermal actuator. JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2007, vol. 16, núm. 3, p. 719-727.
ISSN1057-7157
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
5.pdf | 944,8Kb | Visualitza/Obre |