A highly-repeatable, broadband 180º phase switch for integrated MEMS processes
Visualitza/Obre
MEMSWAVE-2011_Pradell.pdf (202,8Kb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
Estadístiques de LA Referencia / Recolecta
Inclou dades d'ús des de 2022
Cita com:
hdl:2117/13852
Tipus de documentText en actes de congrés
Data publicació2011
Condicions d'accésAccés restringit per política de l'editorial
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
A broadband 0º/180º phase switch based on a slotline-coplanar-waveguide cross loaded with two MEMS switches in opposed (ON/OFF or OFF/ON) states, is reported. The fabrication was made on high-resistivity silicon substrates using the FBK-irst and LAAS-CNRS surface micromachining processes, showing a high repeatability. The measured phase shift is 180º +0º/-7º in the extremely wide frequency range 1–30 GHz.
CitacióLlamas, M. [et al.]. A highly-repeatable, broadband 180º phase switch for integrated MEMS processes. A: International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems. "12th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems". Atenes: 2011.
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
MEMSWAVE-2011_Pradell.pdf | 202,8Kb | Accés restringit |