Lithography aware regular cell design based on a predictive technology model
Visualitza/Obre
versió pre-print (galley-proof) (1,581Mb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
Tipus de documentArticle
Data publicació2010-12
Condicions d'accésAccés restringit per política de l'editorial
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
As semiconductor technology advances into the nanoscale era, optical effects such as channel narrowing, corner rounding or line-end pullback are critical to accomplish circuit yield specifications. It is well-demonstrated that layout regularity reduces the increasing impact of process variations on circuit performance and reliability. The aim of this paper is to present the layout design of a regular cell based on 1-D elements which reduces lithography perturbations (ALARC). We depict several undesirable lithography effects and how these distortions determine several layout parameters in order to achieve the required line-pattern resolution. Furthermore, it is shown how the measurement
of leakage power consumption based on ideal layout is not a precise metric to evaluate circuit performance, especially for low power designs. Finally, the impact of lithography patterns on delay and leakage consumption of a typical cell is provided.
CitacióGómez, S.; Moll, F. Lithography aware regular cell design based on a predictive technology model. "Journal of low power electronics", Desembre 2010, vol. 6, núm. 4, p. 588-600.
ISSN1546-1998
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
06JOLPE04-1108-2.pdf | versió pre-print (galley-proof) | 1,581Mb | Accés restringit |