Characterization of stratified media using high-resolution thin film measurement techniques
Visualitza/Obre
Estadístiques de LA Referencia / Recolecta
Inclou dades d'ús des de 2022
Cita com:
hdl:2099.1/10416
Tipus de documentProjecte Final de Màster Oficial
Data2010
Condicions d'accésAccés obert
Llevat que s'hi indiqui el contrari, els
continguts d'aquesta obra estan subjectes a la llicència de Creative Commons
:
Reconeixement-NoComercial-SenseObraDerivada 3.0 Espanya
Abstract
The characterization of stratified media has become essential in the
development of industrial applications such as LEDs, solar cells, medical devices,
MEMs, MOEMS, etc. This characterization involves measuring the thickness and
optical constants of thin layers with high lateral and vertical resolutions. For this
purpose, we integrated a spectroscopic reflectometer into an existing 3D optical profiler.
We also analyzed how the numerical aperture affects the thickness measurements.
Descripció
Tesina feta en col.laboració amb Sensofar-Tech, S.L.
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
MS Project AA.pdf | 1,872Mb | Visualitza/Obre |