Capacitive and resistive RF-MEMS switches 2.5D & 3D Electromagnetic and Circuit modelling

doi:10.1109/SCED.2009.4800531


Català Castellano English

	Pàgina d'inici
	Estadístiques d'ús

Llistar
	Comunitats
	Títol
	Autor
	Data
	Matèria
	Àrees temàtiques de la UPC

Serveis
	Alertes
	El meu E-prints UPC usuaris autoritzats
	Editar perfil
	Entrada usuaris no UPC



	Sobre DSpace

	Bibliotècnica: la biblioteca digital de la UPC

E-prints UPC >
Altres >
Enviament des de DRAC >

Empreu aquest identificador per citar o enllaçar aquest ítem: http://hdl.handle.net/2117/8890

Arxiu	Descripció	Mida	Format
CapacityandResistive.pdf		503.34 kB	Adobe PDF	Veure/Obrir

Citació:	Llamas, M. [et al.]. Capacitive and resistive RF-MEMS switches 2.5D & 3D Electromagnetic and Circuit modelling. A: Spanish Conference on Electron Devices. "7th Spanish Conference on Electron Devices CDE-2009". Santiago de Compostela: 2009, p. 451-454.
Títol:	Capacitive and resistive RF-MEMS switches 2.5D & 3D Electromagnetic and Circuit modelling
Autor:	Giacomozzi, Flavio; Colpo, S.; Plana, Robert; Llamas Morote, Marco Antonio; Girbau, David; Pausas, Esther; Pradell i Cara, Lluís ; Aouba, Stephane; Villneuve, C.; Puyal, Vincent; Pons, Patrick
Data:	2009
Tipus de document:	Conference report
Resum:	this paper proposes different strategies for the electrical modelling of capacitive and resistive RF-MEMS switches which take into account the dependence of the electrical performance on the mechanical properties and technological processes. The EM modelling of MEMS switches is addressed with 2.5D and 3D full wave EM softwares. More specifically, ADS-MomentumTM (2.5D) and EMDSTM (3D) from Agilent Technologies are used. Capacitive RF-MEMS switches were fabricated with the LAAS-CNRS 6-mask RF-MEMS process in Toulouse, France, and resistive RF-MEMS switches were fabricated with the FBK-irst 8-mask RF-MEMS process in Trento, Italy. It is shown that, by applying the proposed strategies, 2.5D and 3D simulations are in good agreement with characterization results.
URI:	http://hdl.handle.net/2117/8890
Versió de l'editor:	10.1109/SCED.2009.4800531
Apareix a les col·leccions:	Altres. Enviament des de DRAC Departament de Teoria del Senyal i Comunicacions. Ponències/Comunicacions de congressos RF&MW - Grup de Recerca de Sistemes, Dispositius i Materials de RF i Microones. Ponències/Comunicacions de congressos
Comparteix:

Stats Mostra les estadístiques d'aquest ítem

Queda prohibida la reproducció, transformació, distribució i comunicació pública d'aquesta obra. Es permet, en tot cas, la reproducció per a ús privat sempre i quan la còpia que se'n faci no sigui objecte d'utilització col·lectiva ni lucrativa (art. 31.2 del Reial Decret Legislatiu 1/1996, de 12 d'abril, pel qual s'aprova el Text Refós de la Llei de Propietat Intel·lectual, http://bibliotecnica.upc.es/sepi/legislacio.asp).

Per a qualsevol ús que es vulgui fer diferent al permès, dirigiu-vos a: sepi@upc.edu