DSpace DSpace UPC
 Català   Castellano   English  

E-prints UPC >
Altres >
Enviament des de DRAC >

Empreu aquest identificador per citar o enllaçar aquest ítem: http://hdl.handle.net/2117/8890

Arxiu Descripció MidaFormat
CapacityandResistive.pdf503,34 kBAdobe PDFThumbnail
Veure/Obrir

Citació: Llamas, M. [et al.]. Capacitive and resistive RF-MEMS switches 2.5D & 3D Electromagnetic and Circuit modelling. A: Spanish Conference on Electron Devices. "7th Spanish Conference on Electron Devices CDE-2009". Santiago de Compostela: 2009, p. 451-454.
Títol: Capacitive and resistive RF-MEMS switches 2.5D & 3D Electromagnetic and Circuit modelling
Autor: Giacomozzi, Flavio; Colpo, S.; Plana, Robert; Llamas Morote, Marco Antonio; Girbau Sala, David Veure Producció científica UPC; Pausas, Esther; Pradell i Cara, Lluís Veure Producció científica UPC; Aouba, Stephane; Villneuve, C.; Puyal, Vincent; Pons, Patrick
Data: 2009
Tipus de document: Conference report
Resum: this paper proposes different strategies for the electrical modelling of capacitive and resistive RF-MEMS switches which take into account the dependence of the electrical performance on the mechanical properties and technological processes. The EM modelling of MEMS switches is addressed with 2.5D and 3D full wave EM softwares. More specifically, ADS-MomentumTM (2.5D) and EMDSTM (3D) from Agilent Technologies are used. Capacitive RF-MEMS switches were fabricated with the LAAS-CNRS 6-mask RF-MEMS process in Toulouse, France, and resistive RF-MEMS switches were fabricated with the FBK-irst 8-mask RF-MEMS process in Trento, Italy. It is shown that, by applying the proposed strategies, 2.5D and 3D simulations are in good agreement with characterization results.
URI: http://hdl.handle.net/2117/8890
DOI: 10.1109/SCED.2009.4800531
Apareix a les col·leccions:RF&MW - Grup de Recerca de Sistemes, Dispositius i Materials de RF i Microones. Ponències/Comunicacions de congressos
Departament de Teoria del Senyal i Comunicacions. Ponències/Comunicacions de congressos
Altres. Enviament des de DRAC
Comparteix:


Stats Mostra les estadístiques d'aquest ítem

SFX Query

Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets.

Per a qualsevol ús que se'n vulgui fer no previst a la llei, dirigiu-vos a: sepi.bupc@upc.edu

 

Valid XHTML 1.0! Programari DSpace Copyright © 2002-2004 MIT and Hewlett-Packard Comentaris
Universitat Politècnica de Catalunya. Servei de Biblioteques, Publicacions i Arxius