|
E-prints UPC >
Altres >
Enviament des de DRAC >
Empreu aquest identificador per citar o enllaçar aquest ítem:
http://hdl.handle.net/2117/8157
|
| Citació: | Ostadi, H. [et al.]. Optimization of a novel micro-opto-X-ray imaging lens. "Microelectronic engineering", Juny 2008, vol. 85, núm. 5-6, p. 1086-1088. |
| Títol: | Optimization of a novel micro-opto-X-ray imaging lens |
| Autor: | Ostadi, Hossein; Arroyo Balaguer, Marino  ; Prewett, P.D.; Jiang, K.C.; Huq, S.E. |
| Data: | jun-2008 |
| Tipus de document: | Article |
| Resum: | A mechanically deformable reflection transmission MOEMS system is capable of focusing X-rays to sub micron spots. This paper considers the geometry of the proposed deformed slotted microcantilever lens element under thermally derived strain, using finite element analysis. The work shows that an optimized MOEMS design using a slotted polyimide/gold thermal bimorph cantilever is capable of achieving ideal geometry with a larger than expected number of focusing slots – up to 111 at 2 μm width. |
| ISSN: | 0167-9317 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2117/8157 |
| Versió de l'editor: | 10.1016/j.mee.2008.01.096 |
| Apareix a les col·leccions: | Altres. Enviament des de DRAC
Departaments de Matemàtica Aplicada. Articles de revista
LaCàN - Laboratori de Càlcul Numèric. Articles de revista
|
| Comparteix: |
|
Queda prohibida la reproducció, transformació, distribució i comunicació pública d'aquesta obra. Es permet, en tot cas, la reproducció per a ús privat sempre i quan la còpia que se'n faci no sigui objecte d'utilització col·lectiva ni lucrativa (art. 31.2 del Reial Decret Legislatiu 1/1996, de 12 d'abril, pel qual s'aprova el Text Refós de la Llei de Propietat Intel·lectual, http://bibliotecnica.upc.es/sepi/legislacio.asp).
Per a qualsevol ús que es vulgui fer diferent al permès, dirigiu-vos a: sepi@upc.edu
|
Català
Castellano
English
