|
E-prints UPC >
Altres >
Enviament des de DRAC >
Empreu aquest identificador per citar o enllaçar aquest ítem:
http://hdl.handle.net/2117/6658
|
| Citació: | Ricart, J. [et al.]. Digital resonance for MEMS. A: Spanish Conference on Electronics Devices. "7th Spanish Conference on Electronic Devices". Santiago de Compostela: IEEE Press. Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2009, p. 312-315. |
| Títol: | Digital resonance for MEMS |
| Autor: | Ricart Campos, Jordi  ; Pons Nin, Joan ; Gorreta, Sergi; Domínguez Pumar, Manuel |
| Editorial: | IEEE Press. Institute of Electrical and Electronics Engineers |
| Data: | 11-feb-2009 |
| Tipus de document: | Conference report |
| Resum: | This work shows the application of Pulsed Digital Oscillators to the detection of physical changes in MEMS devices that cause small shifts in their resonance frequencies. Such devices can be used as resonators in several sensor applications. According to this, a case study using a PDO structure to measure small concentrations of volatile organic gas compounds (VOC’s) introduced here. The MEMS devices used are cantilevers with a
thin layer of polymer sensitive to the VOC concentration.
Such devices have been simulated with the Coventor software to see the influence of the polymer layers on their mechanical responses.
Finally, experimental measurements with various VOCs have
been done, and results extracted from two PDO system sources,
digital and analog, have been analyzed and compared. |
| ISBN: | 978-1-4244-2839-7 |
| Dipòsit legal: | IEEE |
| URI: | http://hdl.handle.net/2117/6658 |
| Versió de l'editor: | http://www.ac.usc.es/cde09/ |
| Apareix a les col·leccions: | Altres. Enviament des de DRAC
Departament d'Enginyeria Electrònica. Ponències/Comunicacions de congressos
MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies. Ponències/Comunicacions de congressos
|
| Comparteix: |
|
Queda prohibida la reproducció, transformació, distribució i comunicació pública d'aquesta obra. Es permet, en tot cas, la reproducció per a ús privat sempre i quan la còpia que se'n faci no sigui objecte d'utilització col·lectiva ni lucrativa (art. 31.2 del Reial Decret Legislatiu 1/1996, de 12 d'abril, pel qual s'aprova el Text Refós de la Llei de Propietat Intel·lectual, http://bibliotecnica.upc.es/sepi/legislacio.asp).
Per a qualsevol ús que es vulgui fer diferent al permès, dirigiu-vos a: sepi@upc.edu
|
Català
Castellano
English
