DSpace DSpace UPC
 Català   Castellano   English  

E-prints UPC >
Altres >
Enviament des de DRAC >

Empreu aquest identificador per citar o enllaçar aquest ítem: http://hdl.handle.net/2117/6658

Arxiu Descripció MidaFormat
Digital resonance for MEMS.pdf4,29 MBAdobe PDFThumbnail
Veure/Obrir

Citació: Ricart, J. [et al.]. Digital resonance for MEMS. A: Spanish Conference on Electronics Devices. "7th Spanish Conference on Electronic Devices". Santiago de Compostela: IEEE Press. Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2009, p. 312-315.
Títol: Digital resonance for MEMS
Autor: Ricart Campos, Jordi Veure Producció científica UPC; Pons Nin, Joan Veure Producció científica UPC; Gorreta, Sergi; Domínguez Pumar, Manuel Veure Producció científica UPC
Editorial: IEEE Press. Institute of Electrical and Electronics Engineers
Data: 11-feb-2009
Tipus de document: Conference report
Resum: This work shows the application of Pulsed Digital Oscillators to the detection of physical changes in MEMS devices that cause small shifts in their resonance frequencies. Such devices can be used as resonators in several sensor applications. According to this, a case study using a PDO structure to measure small concentrations of volatile organic gas compounds (VOC’s) introduced here. The MEMS devices used are cantilevers with a thin layer of polymer sensitive to the VOC concentration. Such devices have been simulated with the Coventor software to see the influence of the polymer layers on their mechanical responses. Finally, experimental measurements with various VOCs have been done, and results extracted from two PDO system sources, digital and analog, have been analyzed and compared.
ISBN: 978-1-4244-2839-7
Dipòsit legal: IEEE
URI: http://hdl.handle.net/2117/6658
Versió de l'editor: http://www.ac.usc.es/cde09/
Apareix a les col·leccions:MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies. Ponències/Comunicacions de congressos
Departament d'Enginyeria Electrònica. Ponències/Comunicacions de congressos
Altres. Enviament des de DRAC
Comparteix:


Stats Mostra les estadístiques d'aquest ítem

SFX Query

Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets.

Per a qualsevol ús que se'n vulgui fer no previst a la llei, dirigiu-vos a: sepi.bupc@upc.edu

 

Valid XHTML 1.0! Programari DSpace Copyright © 2002-2004 MIT and Hewlett-Packard Comentaris
Universitat Politècnica de Catalunya. Servei de Biblioteques, Publicacions i Arxius