A Second-order delta-sigma control of dielectric charge for contactless capacitive MEMS
Visualitza/Obre
Cita com:
hdl:2117/27857
Tipus de documentArticle
Data publicació2015-04-01
Condicions d'accésAccés obert
Llevat que s'hi indiqui el contrari, els
continguts d'aquesta obra estan subjectes a la llicència de Creative Commons
:
Reconeixement-NoComercial-SenseObraDerivada 3.0 Espanya
Abstract
This letter introduces a new second-order delta-sigma method for controlling the dielectric charge in contactless capacitive microelectromechanical systems. This method improves the one previously proposed by the authors, providing second-order quantization noise shaping and avoiding the plateaus typical of first-order strategies. The feasibility and the features of the new method are demonstrated both experimentally and through simulations.
CitacióGorreta, S. [et al.]. A Second-order delta-sigma control of dielectric charge for contactless capacitive MEMS. "Journal of microelectromechanical systems", 01 Abril 2015, vol. 24, núm. 2, p. 259-261.
ISSN1057-7157
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
JMEMSL-SG-2order-final.pdf | Article principal - versió draft final | 578,1Kb | Visualitza/Obre |