DSpace DSpace UPC
 Català   Castellano   English  

E-prints UPC >
Enginyeria electrònica i telecomunicacions >
MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies >
Articles de revista >

Empreu aquest identificador per citar o enllaçar aquest ítem: http://hdl.handle.net/2117/2461

Ítem no disponible en accés obert per política de l'editorial

Arxiu Descripció MidaFormat
Comulada.pdf72,72 kBAdobe PDF Accés restringit

Citació: Molinero, D.; Comulada, R.; Castañer, L. Dielectric charge measurements in capacitive microelectromechanical switches. Applied Physics Letters, 2006, vol. 89, 103506.
Títol: Dielectric charge measurements in capacitive microelectromechanical switches
Autor: Molinero Giles, David; Comulada Simpson, Ricard; Castañer Muñoz, Luis María Veure Producció científica UPC
Editorial: American Institute of Physics
Data: 14-feb-2006
Tipus de document: Article
Resum: Measurements of transient currents from the discharge of microelectromechanical capacitive switches after charging the dielectric with an ion gun are reported. It is shown that both the charge sign and the charge amount can be independently measured and that the values can be related to the pull-in shift as measured from C-V characteristics. Several capacitive switches of different sizes were fabricated and subjected to charging and discharging experiments. The analysis of the transients shows that several time constants are governing the charge dynamics, one of them is related to the resistivity-permittivity product of the dielectric.
URI: http://hdl.handle.net/2117/2461
Apareix a les col·leccions:MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies. Articles de revista
Departament d'Enginyeria Electrònica. Articles de revista
Comparteix:


Stats Mostra les estadístiques d'aquest ítem

SFX Query

Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets.

Per a qualsevol ús que se'n vulgui fer no previst a la llei, dirigiu-vos a: sepi.bupc@upc.edu

 

Valid XHTML 1.0! Programari DSpace Copyright © 2002-2004 MIT and Hewlett-Packard Comentaris
Universitat Politècnica de Catalunya. Servei de Biblioteques, Publicacions i Arxius