Dielectric charge measurements in capacitive microelectromechanical switches
Visualitza/Obre
Comulada.pdf (72,72Kb) (Accés restringit)
Sol·licita una còpia a l'autor
Què és aquest botó?
Aquest botó permet demanar una còpia d'un document restringit a l'autor. Es mostra quan:
- Disposem del correu electrònic de l'autor
- El document té una mida inferior a 20 Mb
- Es tracta d'un document d'accés restringit per decisió de l'autor o d'un document d'accés restringit per política de l'editorial
Tipus de documentArticle
Data publicació2006-09-06
EditorAmerican Institute of Physics
Condicions d'accésAccés restringit per política de l'editorial
Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i
industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva
reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets
Abstract
Measurements of transient currents from the discharge of microelectromechanical capacitive
switches after charging the dielectric with an ion gun are reported. It is shown that both the charge
sign and the charge amount can be independently measured and that the values can be related to the
pull-in shift as measured from C-V characteristics. Several capacitive switches of different sizes
were fabricated and subjected to charging and discharging experiments. The analysis of the
transients shows that several time constants are governing the charge dynamics, one of them is
related to the resistivity-permittivity product of the dielectric.
CitacióMolinero, D.; Comulada, R.; Castañer, L. Dielectric charge measurements in capacitive microelectromechanical switches. Applied Physics Letters, 2006, vol. 89, 103506.
Fitxers | Descripció | Mida | Format | Visualitza |
---|---|---|---|---|
Comulada.pdf | 72,72Kb | Accés restringit |