DSpace DSpace UPC
 Català   Castellano   English  

E-prints UPC >
Enginyeria electrònica i telecomunicacions >
MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies >
Articles de revista >

Empreu aquest identificador per citar o enllaçar aquest ítem: http://hdl.handle.net/2117/2442

Ítem no disponible en accés obert per política de l'editorial

Arxiu Descripció MidaFormat
Molinero.pdf159,09 kBAdobe PDF Accés restringit

Citació: Molinero, D.; Castañer, L. Comparison of air gap breakdown and substrate injection as mechanisms to induce dielectric charching in microelectromechanical switches. A: Applied Physics Letters, 2008, vol. 92, 043502.
Títol: Comparison of air gap breakdown and substrate injection as mechanisms to induce dielectric charching in microelectromechanical switches
Autor: Molinero Giles, David; Castañer Muñoz, Luis María Veure Producció científica UPC
Editorial: American Institute of Physics
Data: 12-jul-2007
Tipus de document: Article
Resum: Experiments show that air breakdown and substrate carrier conduction can be responsible of the dielectric charging of microelectromechanical devices after electrical stress. Test conducted under vacuum allows us to isolate the two mechanisms. It is also shown that the relative importance of the two mechanisms depends on the dielectric nature and technology.
ISSN: 0003-6951
URI: http://hdl.handle.net/2117/2442
DOI: 10.1663/1.2837615
Apareix a les col·leccions:MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies. Articles de revista
Departament d'Enginyeria Electrònica. Articles de revista
Comparteix:


Stats Mostra les estadístiques d'aquest ítem

SFX Query

Tots els drets reservats. Aquesta obra està protegida pels drets de propietat intel·lectual i industrial corresponents. Sense perjudici de les exempcions legals existents, queda prohibida la seva reproducció, distribució, comunicació pública o transformació sense l'autorització del titular dels drets.

Per a qualsevol ús que se'n vulgui fer no previst a la llei, dirigiu-vos a: sepi.bupc@upc.edu

 

Valid XHTML 1.0! Programari DSpace Copyright © 2002-2004 MIT and Hewlett-Packard Comentaris
Universitat Politècnica de Catalunya. Servei de Biblioteques, Publicacions i Arxius